技術文章
Technical articles氦質譜檢漏儀/能氦質譜檢漏儀/吸氦法檢漏儀 型號:DP-ZLS-25D/M、ZLS-25D/T
產品簡介:
ZLS-25D/M、ZLS-25D/T型氦質譜檢漏儀是種能氦質譜檢漏儀,與我廠的擴散泵型儀器相比,采用了德萊寶的渦輪分子泵作儀器的真空機組,優化了真空系統及控制閥門的,顯示分采用了嵌入式控計算機,微機系統控制。適用于線上對大批量零件的檢漏(噴氦法或背壓法),也可用吸槍作吸氦法檢漏。
主要特點:
1.1 微機系統控制,人機對話方式操作
1.2 7英寸觸摸式液晶顯示屏,大字符漏率顯示,
漏率直讀,四種常用漏率單位轉換
1.3 自動掃描氦峰,具有圖形顯示和保存能
1.4 動態清除本底
1.5 檢漏過程曲線顯示
1.6 檢漏數據保存能
1.7 聲訊報警,報警點可程序設置
1.8 自帶套輔助系統,可作噴氦法、吸氦法和背壓法檢漏
1.9 口渦輪分子泵
主要參數:
2.1 儀器zui小可檢漏率:優于 5×10-12Pa·m3/s
2.2 儀器的反應時間:不大于3s
2.3 儀器質譜室允許作的zui壓強:1×10-2 Pa
2.4 儀器測試口允許作的zui壓強:1000Pa
2.5 被檢件由粗抽至檢漏的自動切換點(檢漏點)可調范圍:40~10-1Pa
主要件配置:
3.1 渦輪分子泵 德萊寶 1臺
3.2 前級泵 產 1臺
3.3 粗抽泵 產 1臺
3.4 質譜分析室 產 1套
3.5 校準漏孔(帶檢定證書) 1支