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當前位置:首頁技術文章四探針電阻率測試儀/四探針電阻率儀/方阻測試儀/方阻儀/四探針電阻率測定儀(自動測試臺+帶軟件)

四探針電阻率測試儀/四探針電阻率儀/方阻測試儀/方阻儀/四探針電阻率測定儀(自動測試臺+帶軟件)

更新時間:2013-12-21點擊次數:1836

四探針電阻率測試儀/四探針電阻率儀/方阻測試儀/方阻儀/四探針電阻率測定儀(自動測試臺+帶軟件)  型號:DP-KDY-1

四探針電阻率/方阻測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量份(簡稱:主機)、測試架及四探針頭組成。
本儀器的特點是主機配置雙數字表,在測量電阻率的同時,另塊數字表(以分之幾的度)適時監測程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉換,更及時掌控測量電流。主機還提供度為0.05%的恒流源,使測量電流度穩定。本機配有恒流源開關,在測量某些箔層材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生,地保護箔膜。儀器配置了本公司的產品:“小游移四探針頭",探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如加配HQ-710E數據處理器,測量硅片時可自動行厚度、直徑、探針間距的修正,并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習庋。給測量帶來很大方便。
2、主機能數
(1)測量范圍:
可測電阻率:0.0001~19000Ω?cm
可測方塊電阻:0.001~1900Ω?□
(2)恒流源:
輸出電流:DC 0.001~100mA 五檔連續可調
量程:0.001~0.01mA
0.01~0.10mA
0.10~1.0mA
1.0~10mA
10~100mA
恒流度:各檔均低于±0.05%
(3)直流數字電壓表:
測量范圍:0~199.99mV
靈敏度:10μV
基本誤差:±(0.004%讀數+0.01%滿度)
輸出電源:≥1000ΩM
(4)供電電源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 率:12W
(5)使用環境:
溫度:23±2℃ 相對濕度:≤65%
無較強的電場干擾,無強光直接照射
(6)重量、體積:
主機重量:7.5kg
體積:365×380×160(單位:mm 長度×寬度×度)

備注:
等級測量時(測電阻率),度<3%
電氣測量時(測電阻),度在0.3%以內

備注:
儀器包括:主機臺;測試架(包括臺面)個;四探針頭1個;軟件

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